Essence. Distrugerea catodului într-o descărcare de gaz prin bombardament prin ioni pozitivi conduce la formarea unui flux de particule de material catodic. Acest flux de particule se deplasează la anod. descărcare luminiscentă regulată aprins într-un interval de 2-4 cm între catod și anod într-un gaz inert la o presiune de 10-0,1 Pa și 0,5-5,0 kV diferență de potențial. La anod, blocurile sunt plasate pentru a depozita atomii de metale evaporate din catod.
Dimensiunea nanostructurilor. Metoda permite obținerea de particule de metal mai mari de 20 nm și agregate fractale ale acestora.
Reglarea se face prin schimbarea temperaturii, densității de curent, presiunii gazului, calității suprafeței.
Modificarea. Magnetron pulverizarea catodică a fost utilizată pe scară largă datorită unei creșteri relative substanțiale a ratei de depunere și posibilității de a obține acoperiri nanostructurate de înaltă calitate.
Demnitate. Coeficientul de condensare este aproape de unitate, adică aproape toți atomii cad în țintă. În plus, această metodă este caracterizată de suficientă flexibilitate, ușurință de control și capacitatea de a obține nanoparticule neîncălzite de metale refractare.
Dezavantaje. Echipamente complexe și productivitate scăzută.
Aplicație. tip magnetron Amenajarea este utilizat pe scară largă pentru aplicație forma un pahar pe diferite acoperiri nanoscale funcționale: caldura si soare, consolidarea elementelor constitutive de conducție, eliberarea de sol, fotocatalitica, electrocrom și altele. Liniile de pulverizare a magnetronului de pe ferestrele de sticlă acționează în Saratov și suburbiile Moscovei.
Plasma cu temperatură scăzută
Essence. Unitățile de plasmă includ în mod constructiv un generator de plasmă, un reactor și un dispozitiv pentru răcirea produselor de reacție. Cea mai simplă metodă de obținere a nanoparticulelor într-o relație de aparat este arcul electric într-o atmosferă inertă sau cu un amestec de hidrogen. Material Paroobra-lipire pot fi introduse nu numai la plasma din exterior, dar, de asemenea, pentru a servi ca un catod (metal, amestec de aliaj bimetal cu grafit). Temperatura aburului în post-RE cal arc atinge 7000 K. Străinătate temperatura coloanei scade brusc cu un gradient de circa 10 4 K / mm, ceea ce duce la un grad înalt de suprasaturare și condensarea ulterioară a nanoparticulelor. O scădere bruscă a temperaturii la periferia coloanei conduce simultan la stingerea nanoparticulelor formate.
Dimensiunea nanostructurilor. În sinteză, se formează particule sferice cu un diametru mediu de 5-100 nm, adesea cu un miez cristalin și un strat de suprafață amorf.
Reglarea se realizează prin schimbarea vitezei și a presiunii gazului care formează plasmă, a temperaturii plasmei, a intensității de răcire, a geometriei camerei și a electrozilor și a duratei procesului.
Sinteza Modifikatsii.Dlya torțele cu plasmă cu arc electric sunt utilizate, iar descărcarea luminiscentă barieră, și nevoia de torțe de plasmă cu microunde de mare WIDE. Ultimele două tipuri se caracterizează printr-un grad ridicat de puritate atât a plasmei în sine, cât și a nanoparticulelor.
Călire produse de conversie produse în diferite moduri: în schimbătoare de căldură tubulare, prin jeturi zataplivaniya debitul amestec de gaze reci (sau lichide) în duze Laval răcite.
Demnitate. Abilitatea de a miniaturiza, de a facilita managementul și optimizarea.
Dezavantaje. Periodicitatea și durata de viață scăzută, asociată cu consumul de material catodic (numai pentru plasmatronele electro-plastice).
Aplicație. În arcul electric, o pulbere de nanotuburi de carbon este obținută pe o scară suficient de mare, pentru extracția căreia se utilizează oxidarea, tratamentul cu acid și tratamentul cu ultrasunete.