Spectroellipsometrul elf

ALEGEREA APARATULUI *)

Măsurarea grosimii peliculei si grosimi ale stratului în structurile de tip film subțire (metale, semiconductori și izolatori, solide și lichide de film).

Măsurarea constantelor optice ale probelor (metale, semiconductori și dielectrice, medii solide și lichide).

Investigarea structurii materialelor (compoziția, neuniformitatea distribuției spațiale, porozitatea, gradul de cristalinitate, etc.).

Analiza stării de suprafață și a structurii straturilor subțiri (prezența straturilor de suprafață, rugozitatea suprafeței la nivelul nanometriei etc.).

APLICAȚII *)

Controlul tehnologic al fabricării de structuri subțiri în diverse industrii, printre care:

Microelectronica - componente si materiale (circuite integrate, diode emițătoare de lumină, display-uri, dispozitive de memorie, dispozitive de comutare moleculare, fotodetectoare, senzori, etc.);

sisteme de telecomunicații;

sisteme de televiziune prin satelit;

putere (elemente ale panourilor solare etc.);

în chimia organică - să studieze proprietățile și structura filmelor cu compuși organici și procese fizico-chimice la interfețele media;

în știința materialelor pentru studiul structurii materialelor;

în biologie și medicină - pentru studierea proceselor de adsorbție a proteinelor, coagularea sângelui; în oftalmologie - pentru a studia retina ochiului;

în studiile de mediu - pentru a controla prezența și grosimea filmelor de ulei pe suprafețele apei etc.

*) Informații detaliate sunt prezentate aici (fișier pdf cu volumul de 414 KB).

DESCRIEREA APARATULUI

Dispozitivul se bazează pe elipometrie. reprezintă o metodă foarte sensibilă și precisă pentru studiul polarizare optică a suprafețelor și interfețelor diverse suporturi (solid, lichid, gazos), bazată pe studiul modificărilor stării de polarizare a luminii asupra reflecției adică după interacțiunea sa cu suprafața de interfață a acestor medii. O descriere a metodei de elipsometrie poate fi găsită aici.

Specificații:

Lungimea de undă

270 ÷ 10 0 0 nm

Caracteristicile dispozitivului

Măriți precizia măsurătorilor. reducerea influenței zgomotului de fond și a luminii parazite în spectroellipsometer „Elf“, este asigurată prin utilizarea unui număr de soluții de design de succes. Dintre acestea, disponibilitatea:

mikropristavki. îmbunătățirea rezoluției spațiale;

compensator achromatic. permițând creșterea acurateței măsurătorilor straturilor cu o grosime mai mică de 10 nanometri;

Stadiul de măsurare a, care face posibilă mutarea probei în trei direcții;

un sistem de monitorizare a corectitudinii instalării eșantionului.

Aparatul are capacitatea de a lucra atât în modul elipsometria. și în regimul fotometriei spectrale.

Avantajele dispozitivului:

permite studiul în atmosferă normală, la temperaturi și presiuni diferite, în diferite medii;

asigură caracter non-contact, caracter nedistructiv, eficiență de măsurare;

nu conține elemente de polarizare în mișcare, ceea ce mărește sensibilitatea și reduce timpul de măsurare;

Poate funcționa cu semnale slabe;

a crescut sensibilitatea;

reduce influența zgomotului datorată utilizării metodei de măsurare a parametrilor cu modularea binară a stării de polarizare;

software modern, incluzând o bibliotecă de spectre ale indicelui de refracție și absorbție de lumină a diferitelor substanțe. Biblioteca poate fi completată de utilizator independent.

Conținutul pachetului

Articole similare

Pagina anterioară

Pagina următoare

Spectroellipsometrul elf

ALEGEREA APARATULUI *)

Măsurarea grosimii peliculei si grosimi ale stratului în structurile de tip film subțire (metale, semiconductori și izolatori, solide și lichide de film).

Măsurarea constantelor optice ale probelor (metale, semiconductori și dielectrice, medii solide și lichide).

Investigarea structurii materialelor (compoziția, neuniformitatea distribuției spațiale, porozitatea, gradul de cristalinitate, etc.).

Analiza stării de suprafață și a structurii straturilor subțiri (prezența straturilor de suprafață, rugozitatea suprafeței la nivelul nanometriei etc.).

APLICAȚII *)

Controlul tehnologic al fabricării de structuri subțiri în diverse industrii, printre care:

Microelectronica - componente si materiale (circuite integrate, diode emițătoare de lumină, display-uri, dispozitive de memorie, dispozitive de comutare moleculare, fotodetectoare, senzori, etc.);

sisteme de telecomunicații;

sisteme de televiziune prin satelit;

putere (elemente ale panourilor solare etc.);

în chimia organică - să studieze proprietățile și structura filmelor cu compuși organici și procese fizico-chimice la interfețele media;

în știința materialelor pentru studiul structurii materialelor;

în biologie și medicină - pentru studierea proceselor de adsorbție a proteinelor, coagularea sângelui; în oftalmologie - pentru a studia retina ochiului;

în studiile de mediu - pentru a controla prezența și grosimea filmelor de ulei pe suprafețele apei etc.

*) Informații detaliate sunt prezentate aici (fișier pdf cu volumul de 414 KB).

DESCRIEREA APARATULUI

Specificații:

Caracteristicile dispozitivului

Măriți precizia măsurătorilor. reducerea influenței zgomotului de fond și a luminii parazite în spectroellipsometer „Elf“, este asigurată prin utilizarea unui număr de soluții de design de succes. Dintre acestea, disponibilitatea:

mikropristavki. îmbunătățirea rezoluției spațiale;

compensator achromatic. permițând creșterea acurateței măsurătorilor straturilor cu o grosime mai mică de 10 nanometri;

Stadiul de măsurare a, care face posibilă mutarea probei în trei direcții;

un sistem de monitorizare a corectitudinii instalării eșantionului.

Aparatul are capacitatea de a lucra atât în ​​modul elipsometria. și în regimul fotometriei spectrale.

Avantajele dispozitivului:

permite studiul în atmosferă normală, la temperaturi și presiuni diferite, în diferite medii;

asigură caracter non-contact, caracter nedistructiv, eficiență de măsurare;

nu conține elemente de polarizare în mișcare, ceea ce mărește sensibilitatea și reduce timpul de măsurare;

Poate funcționa cu semnale slabe;

a crescut sensibilitatea;

reduce influența zgomotului datorată utilizării metodei de măsurare a parametrilor cu modularea binară a stării de polarizare;

software modern, incluzând o bibliotecă de spectre ale indicelui de refracție și absorbție de lumină a diferitelor substanțe. Biblioteca poate fi completată de utilizator independent.

Conținutul pachetului

Articole similare

Aparatul are capacitatea de a lucra atât în modul elipsometria. și în regimul fotometriei spectrale.