Vid (din vid Latină - vid) condiție numită gaz rarefiată unde presiunea mult sub presiunea atmosferică. O caracteristică cantitativă este o presiune de vid absolut.
În joasă presiune tehnica utilizată în mod frecvent expresii cum ar fi: „Presiune minus patra, a cincea pompat la minus.“ Aceasta se referă la presiune într-un sistem de vid, respectiv, 10 și 10 -4 -5 mm Hg. Art. Caracterul proceselor fizico-chimice în vid depinde de raportul dintre numărul de coliziuni ale moleculelor de gaz rezidual cu pereții vasului și numărul de coliziuni reciproce ale moleculelor. Acest raport descrie, în general numărul de molecule în acest volum (camera de vid). Partei, această corelație se caracterizează prin raportul dintre drumul liber de molecule la X caracteristică (determină) dimensiunea liniară a volumului în cauză s. Această relație constituie baza pentru zonele de separare de vid următoarele intervale: mici, medii, mari și vid ultrahigh.
Low vacuum - λ <> S - care corespunde intervalului de presiune la 0,1 la 10 -5 Pa. vacuum ultrahigh este caracterizat prin aceea că nu există nici o schimbare apreciabilă proprietățile suprafeței libertăților inițial clorhidric de gaz adsorbit pe parcursul timpului semnificativ pentru procesul în cauză. Prin regiune UHV includ o presiune sub 10 -5 Pa.
Gradul de vacuum atins în volumul pompat este determinat de presiunea de echilibru sub acțiunea stabilește cel puțin trei procese: 1) evacuarea de gaz cu ajutorul pompelor (sau absorbției acestuia); 2) Scurgeri de gaze prin lacunele din prezentul ecran; 3) degazarea pereților containerului (sau gazoproniknoveniya) prin acesta.
Trebuie remarcat faptul că este absolut strâns suge-ing nu există. De asemenea, important este conceptul de „puritate“ a vidului. Faptul că prin utilizarea diferitelor tipuri de pompe de volum mecanic sau difuziune pompat în molecula poate intra fluidul de lucru a pompei, cum ar fi uleiul, și astfel denatura compoziția gazului rezidual. În plus, trebuie amintit că viteza de pompare a gazelor diferite variază, și pornind de la pompa de volum umplut cu aer, în care componentele de bază de azot (
20%), la o presiune de aproximativ 10 -5 mm Hg. Art. în camera se obține un complet diferit raport al componentelor reziduale.
Aparate de măsurare a presiunii, apoi, mult sub presiunea atmosferica, numite calibre. Vacuum constau dintr-un traductor de presiune (PD) și blocul de măsurare (IB). PD - aparate conectabil la camera de vid pentru presiune direct de detectare și converti la o altă cantitate fizică de măsurat. IB - un dispozitiv care furnizează PD a solicitat modul, amplificarea și măsurarea rezultatelor acestuia.
Calibre sunt clasificate în conformitate cu principiul metodei de acțiune și presiune de măsurare. Conform metodelor de măsurare variază în calibre bazate pe măsurători absolute sau indirecte.
Primul grup include calibre măsoară direct presiunea ca o forță care acționează pe suprafața elementului senzorului. Acest lichid și tensometrelor caracterizate Deadweight indicații de independență privind tipul de gaz rezidual. Cea mai mică presiune care poate fi măsurată prin dispozitive din grupul de 10 -4-10 -5 Pa.
Al doilea grup include calibre, a căror funcționare se bazează pe utilizarea unora dintre parametrii proceselor fizice ale presiunii. Aceasta ionizare, viscozitate și termică în vid radiometrice.
Indicații ecartament Metoda de măsurare indirectă depinde de natura gazului rezidual. Granulometria acestor dispozitive se realizează de obicei prin aer sau azot, și coeficienții de corecție utilizați pentru a măsura presiunea altor gaze. Dispozitivele de acest grup permite să măsoare presiunea la 10 -12 Pa. Principiul funcționării gabaritelor lichid (Fig. 6.19) se bazează pe echilibrarea presiunii de presiune măsurată (sau presiunea diferențială) a coloanei de lichid. La presiunea măsurată este evaluată prin înălțimea echilibrării coloanei de lichid.
ecartament este o formă rosteyshiyU tub curbat de sticlă în formă de U în secțiune transversală constantă, umplut cu lichid. Diametrul interior al tubului, pentru a evita erorile cauzate de forțe capilare, nu trebuie să fie mai mică de 7 mm. Un capăt al tubului este conectat la un sistem de vid (PX), iar celălalt poate fi deschis sau închis. Presiunea în genunchi închisă ar trebui să fie semnificativ mai mică decât măsurat. Presiunea măsurată se calculează după cum urmează:
Fig. 6.19. Principiul de funcționare
închis-genunchi -
în care RA - presiunea atmosferică;
Intervalul valorilor presiunii măsurate depind de fluid dimensiunile geometrice ale dispozitivului și metoda de măsurare a diferenței de nivel, care folosesc metode diferite - de conducător obișnuit cu diviziuni milimetrice metodelor de interferență. În acest ultim caz, acuratețea nivelurilor de referință
10 -5 mm și măsurare limită de presiune 10 -3 Pa.
Pe măsură ce fluidul de lucru este selectat dintre lichide sub presiune de vapori scăzută și capacitate scăzută de dizolvare a gazului. Pentru a măsura presiunea apropiată de presiunea atmosferică, trebuie aleasă cu un fluid cu densitate mare (de obicei mercur) și pentru măsurarea presiunii scăzute - un lichid cu densitate minimă (de multe ori folosind ulei de vid).
Presiunea Transductorul determinată de deformarea elementului elastic care apare sub influența diferenței de presiune. Astfel de calibre se disting prin tipul metodei de măsurare a senzorului și tulpina.
Prin tip de senzor - tub, burduf, diafragmă. Tubulară și burdufului senzorului gauge parte mobilă prin intermediul unui sistem de roți dințate conectate cu o săgeată, prin care abaterea este evaluată la presiune.
Ecartamentul diafragma vacuum pentru a determina deformarea membranei folosind optice, dar cele mai multe metode electrice. În acest ultim caz, deformarea este măsurată folosind tensoconverters capacitiv aplica fie o metodă în care membrana împreună cu electrodul staționară formează un condensator a cărui capacitate variază cu presiunea. Cu deturnări minore schimbare relativă în capacitate este direct proporțională cu variația presiunii. traductoare cu membrană permit măsurarea presiunii de la presiunea atmosferică până la 10 -4 Pa (așa cum sa menționat deja în descrierea senzori capacitivi).