CURRENT DIRECTĂ nanoparticule de carbon (violet) în plasmă crește creșterea în aparatul PECVD în instalație la scară de laborator.
Epitaxia - o creștere regulată a materialului cristalin sau strat la altul (de la επι grecesc. - On și ταξισ - ordine de aspect), adică creșterea orientată spre un singur cristal pe suprafața celuilalt (substrat). Strict vorbind, creșterea cristalelor de epitaxiale poate fi numit: fiecare strat succesiv are aceeași orientare ca și cea anterioară. [1] [2]
Epitaxia se observă atunci când cristalizarea din orice fluide (vapori, soluție, se topesc), precum și la altă coroziune. Epitaxie depinde format sub Grile conjugare cristaline ale substratului și al cristalului în creștere, meci corespondența predominant structural-geometric. Cea mai simplă substanță imperecheate cristalizeze din aceleași sau apropiate caracteristicile structurale ale substanței, cum ar fi Ag și Cubic cu fețe centrate zăbrele NaCl, blendă și tip diamant zăbrele.
Cu toate acestea, epitaxia pot fi obținute pentru structuri total diferite, cum ar fi grătare precum corindon și diamant. [3]
Distinge heteroepitaxy. Atunci când materialul de substrat și cristalul în creștere sunt diferite (procesul este posibilă numai pentru substanțele care interacționează chimic) și homoepitaxy. atunci când acestea sunt aceleași. creșterea cristalelor Oriented în volumul altui numit endotaksiey.
Epitaxia efectuate în special cu ușurință dacă gurile permanente diferența nu depășește 10%. Pentru discrepanțe mari îmbină cele mai dens ambalate avioane și direcții. În această parte a planurilor de una dintre gratarele nu este continuată în celălalt; marginile colțuroase astfel de avioane formeaza dislocații inadaptati.
Epitaxie este astfel, format din pete era substrat minimal-cristal, substratul de cristal și mediul de mediu care energia totală a frontierei.