Fig. 5. ecartament I. magnetron cu un catod cald auxiliar
Oxid thermionic catod - un amestec de oxizi metalici. aplicat miezului metalic. Catozii de temperatură joasă, care funcționează la temperaturi variind de 900-1300 ° K, folosind un amestec de oxizi de metale alcalino-pământoase - bariu, calciu și stronțiu. Acești oxizi se obțin prin descompunerea carbonaților metalelor alcalino-pământoase. aplicat la metalul de bază al catodului. în timpul imediat sale de încălzire într-un dispozitiv de vid. în care catodul trebuie să lucreze. catozii scăzute de oxid de temperatură sunt cel mai des utilizate în dispozitive electronice. [C.445]
Cox uktsiya microtron prezentat în Fig. 7.4 Fluxul de electroni excitat catod thermionic, de obicei, amplasate pe PE [c.284]
In catozii oxid de temperatură ridicată. care funcționează în intervalul de temperaturi 1400-1900 ° K, se utilizează oxizi de ytriu și toriu. Astfel de catozi termoionici sunt utilizate în principal în magnetroane. [C.445]
catozii termoionici eficiente. Sat. Trans. ed. Shulmana A. R. IL, [c.444]
Valorile pentru BaO. Pentru catod BaO-HFZ-fierbinte, rata de evaporare este oarecum mai puțin. [C.447]
Dintre diborură de titan, vanadiu, crom și mangan de emisie maximă comparabil cu emisia de hexaboride ceriu. crom diborură posedă. care pot fi utilizate ca material catozilor termoionici. [C.111]
Prin deplasarea rapidă coliziune de electroni cu suprafața electronului anod poate avea loc fie un material de absorbție a anodului sau reflexia de suprafață. Când materialul de electroni de absorbție anod aproximativ 70-80% din energia cinetică este transformată în căldură. Dacă electrodul catodic (thermionic catod) este încălzit la o temperatură la care emisia termionică incepe intensiv. între electrozii anozilor și catozilor se stabilește un flux de electroni, așa-numitul curent anod, care [c.90] valoare
Prin deplasarea rapidă coliziune de electroni cu suprafața electronului anod poate avea loc fie un material de absorbție a anodului sau reflexia de suprafață. Când materialul de electroni de absorbție anod aproximativ 70-80% din energia cinetică este transformată în căldură. Dacă electrodul catodic (thermionic catod) este încălzit la o temperatură la care emisia termionică incepe intensiv. între electrozii anozilor și catozilor se stabilește un flux de electroni, așa-numitul curent anod, amplitudinea care este numeric egală cu curentul de emisie catod. Datorită bombardament de electroni temperatura rapid de curgere anod crește rapid. Viteza de încălzire și temperatura limită depinde de amplitudinea tensiunii și accelerează curentul de anod. t. e. puterea fasciculului de electroni [C.33]
N Monovolframaty Ca Na, paratungstat de amoniu -promezhut. Produse perforate ve W și WO3. Tungstații Na n K utilizate în producția de-ve din bronz de wolfram (vezi. Bronzurile oxid). Monovolframaty Mg, d și Zn incluse în fosforescente. BajWOg promițătoare pentru producerea de catozi termice. REE Monovolframaty (se topesc în intervalul de 1030-1580 ° C) materiale cu laser -component monovolframaty d și Th-cristalin. matrice cu laser. metale și fosforescente lantanide V. Dual-alcalină. [C.424]
Plantele în care un metal încălzit servește ca anod, sunt utilizate pe scară largă în domeniu, în special pentru purificarea de bandă. În aceste plante, o sursă de electroni liberi catod thermionic este fabricat din tungsten sau sarma tantal sub forma unui inel. Metalul încălzit este amplasat coaxial cu catod cald, iar între tensiunea aplicată accelerează ordinul 10-15 kV. catod thermionic este încălzit la [C.33]
O metodă de sudare cu fascicul de electroni se bazează pe o platformă de lucru pentru bombardament de electroni de încălzire într-o cameră de evacuat la o presiune sub 10 5 mm Hg. Art. Electronii emiși de catod sunt accelerați de un câmp electric la energii de aproximativ 100 keV. Coliziuni de electroni cu platforma din energia lor cinetică. care corespunde cu jumătate din viteza luminii. Acesta este transformată în căldură. Pentru a proteja operatorul de la care apar în același raze X necesită o atentă de screening. Cu fascicul de electroni optica este axat pe o suprafață mică, cu un diametru de 0,25 până la 1,5 mm, în timp ce stă la putere pe ordinea de 10 W / cm. Adâncimea de pătrundere a fasciculului de electroni depinde de diferiți parametri experimentali, cum ar fi viteza de sudură și puterea fasciculului, și proprietățile fizice ale materialelor de sudat. Mecanismele de penetrare a electronilor în solid, iar procesul de formare a unei cusături discutate Schwartz [c.250]
Ionizarea calibre catod cald. Prima și cea mai logică variantă simplă a ideii gabaritului de ionizare este o lampă triodă ionizare. După cum se poate observa din Fig. 102 este catodul în mijlocul ei. care atunci când este încălzit emite electroni. Catodul este împământată și colector cilindric ion este decalat în raport cu ea circa 30 V. Potențialul rețelei din jurul catodului cu un pas larg este de aproximativ 180 V. electronii emisi de catod, G I I A sunt accelerate spre grila, [c.324]
Creșterea rezoluției microscopului se realizează gl.obr. îmbunătățirea optică de electroni și utilizarea de noi tipuri de arme de electroni. Înlocuirea catozii convenționale tungsten termoionici pe catozii reper Labe a imbunatatit tunuri electronice luminozitate în 5-7 ori, iar trecerea la tunurile în emisia câmpului (avtovmissii) cu catozii rece de un singur cristal. W - 50-100 de ori, ceea ce face posibilă reducerea cu diametrul zovda de electroni și finisare. Rezoluția SEM de 1 nm, reducând semnificativ fasciculul atom nafuzku pe probă. [C.441]
Anii au trecut de la lansarea celei precedente, publicarea acestei monografii (traducere disponibilă practică microscopie electronică de baleiaj. M. Pace, 1978), au fost marcate de dezvoltarea rapidă a principiilor aparate și metode de cercetare electron și ion-sondă. În primul rând, aici ar trebui să includă stabilirea unei serii de microanalyzers de electroni Auger raster. cum ar fi Lamro -10 (compania LEO) sisteme de electroni și litografia fascicul de ioni. microscoape metrologice și tehnologice de scanare de electroni, și așa mai departe. d. îmbunătățit în mod semnificativ parametrii instrumentului. Deci, acum în serie microscoape electronice cu scanare cu tungsten convențional cu catod cald au o rezoluție garantat 50-60 Un model high-end, cu cele mai înalte specificații au construit minicalculatoare, cu care setează automat modul optim de funcționare a dispozitivului, în mare măsură facilitată și a făcut mai ușor de manipulare instrumentului. În unele cazuri, în locul pompelor convenționale cu abur-difuzie sunt folosite pentru pomparea turbomoleculare și ioni pompe. creând un vid curat în apropierea eșantionului, reducând astfel rata de creștere a filmului a contaminanților de hidrocarburi pe obiect. [C.5]
Aceste calcule sugerează că aberatiile cromatice nu afectează dimensiunea finală a fasciculului (0 ore). Microscopia de înaltă rezoluție la tensiuni de accelerare joase când se utilizează catozilor în ac de păr de tungsten, influența aberației cromatice devine netrivială. Contribuția aberației cromatice poate fi calculată prin ecuația (2A) 1oră = (AE1E) 1Shr a = 0,8 cm [2] pentru SSF. Pentru valoarea catod cald AE este 2-3 eV. Folosind aceste valori pentru o dimensiune sondă de 5 nm (50 A), la o tensiune de accelerare de 30 kV peste o = 0,63 rad, am descoperit că xp valoare este de 4 nm (40 A). Aceasta este o contribuție semnificativă, și, conform ecuației (2.1), ar avea ca efect creșterea cu 5 nm (50 A) până la 6,5 nm (65 A). [C.19]
compuși pe bază de metal de tip catod în MeV, unde Me - - boruri thermionic catod metale alcalino-pământoase și pământuri rare sau toriu. Deoarece cel mai larg utilizat catod hex saborid lantan fierbinte, rare - hexaborides ytriu și gadoliniu și diborură de crom. catozii termoionici de hexaboride lantan funcționează la o temperatură de 1650 ° K și asigură o densitate de curent termionic de 40-50 A / cm în regimul de sarcină spațială. și când o intensitate mare a câmpului electric la suprafața catodului - 200 a1sm. rezistență mecanică ridicată și stabilitate a catodului la bombardament de ioni pot fi utilizate în modul de emisie câmp Hx (atunci când câmpul electric extern 10 canale V / compresie porțiune semnificativă a curentului de emisie datorită tunelare [c.445]
In anodizare plasma electrozi eclator principal (catod și anod) sunt numai pentru întreținerea descărcării. Filmul dielectric al unui substrat oxidabil este cufundat într-o plasma de oxigen si ofset cu alimentare, independent de evacuare principal. Pentru curgere în circuitul anodizare DC - filmul emoy contraelectrod utilizat cufundat în plasmă. Posibilitatea de a utiliza oricare dintre joasă presiune descărcare luminiscentă arc, de înaltă frecvență și microunde. Este important ca descărcarea plasmei este capabil să formeze cu parametrii adecvați în volum bolschoy și nu cauzează sputtering electrozilor. deoarece produsele de pulverizare se vor contamina sursele de oxid de creștere și devin defecte. Arc îndeplinește aceste cerințe, dar este de puțin folos pentru uz industrial datorită distrugerii rapide a catod cald în mediul de oxigen activ. Aplicarea RF și electrodeless cu microunde de evacuare elimină complet electrozii principali de pulverizare. dar rămâne posibil contraelectrod dielectric sputtering și pereții camerei de vid. [C.155]
O proprietate importantă a Nb. Ta, NG, boruri REM este abilitatea de a elibera electroni fluxuri puternice la încălzire este utilizat pe scară largă în dispozitive de luare de vid pentru armături fierbinte (lantan densitatea fluxului de emisie borură poate ajunge la 10 a1sm). Catozi de borură lantan utilizat, de exemplu, în cuptoarele de sudare cu fascicul de electroni. oxid de ytriu este utilizat pentru a crea catozii termice magnetron în impulsuri. [C.23]
catozi termoionici metalice fabricate din tungsten thoriated și karbidiro de tungsten thoriated -Bath găsi în prezent numai aplicație limitată. [C.445]
Interesul pentru acest tip de microscopie de transmisie a apărut după posibilitatea de a crea surse de electroni foarte-VASTE (efect lantan hexaboride termoionic catod și un catod de emisie câmp), care a permis să se obțină o intensitate ridicată într-o sondă subțire. Rezoluția RPEM nu poate fi mai bine decât secțiunea sondă. În prezent, rezoluția uzuală pentru [c.547]
Plantele în care un metal încălzit servește ca anod, sunt utilizate pe scară largă în domeniu, în special pentru purificarea de bandă. În aceste plante, o sursă de electroni liberi catod thermionic este fabricat din tungsten sau sarma tantal sub forma unui inel. Metalul încălzit este amplasat coaxial cu catod cald, iar între tensiunea aplicată accelerează ordinul 10-15 kV. 2 Tormokatod încălzit la 000-2 500 ° C prin trecerea unui curent continuu. Datorită bardirov1ki metalului bom de electroni poate fi precis încălzit la orice temperatură necesară neob- LE1 Tron, inclusiv fierbere rotund desigilării sau evaporare. O astfel de schemă „[c.91]
Electron arma este un sistem de doi electrozi, sub o diferență de potențial și izolate una de alta. Fantele de un electrod, numit catod, catod thermionic situate în celălalt electrod - anod are, de asemenea, o fantă corespunzătoare formei fasciculului de electroni. Configurația electrozilor este selectată astfel încât electronii em1itiruemye thermionic sub influența unui câmp electrostatic în spațiul interelectrodic adunat într-un pachet strâns. [C.91]
Fenomenul cataforeză este folosit în diverse industrii. De exemplu, în catozii oxid art radioelektroinoy fabricate cataforeză. și oxid de toriavye și oxid de ytriu catozii termoionici directe și indirecte încălzite. [C.218]